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TiO_2纳米管阵列的制备及其复阻抗研究
作 者: 王红
导 师: 傅刚
学 校: 广州大学
专 业: 凝聚态物理
关键词: 磁控溅射 阳极氧化 TiO2纳米管 复阻抗 拟合
分类号: TB383.1
类 型: 硕士论文
年 份: 2008年
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内容摘要
TiO2是一种重要的无机功能材料,在许多领域有广泛的应用前景.TiO2纳米管比纳米粉体,纳米膜具有更大的比表面积,因而具有更高的吸附能力,可望进一步提高TiO2.的各种性能。特别是如果能在管中填入更小的无机、有机、金属或磁性纳米粒子组成复合纳米材料,可能会大大改善这些材料的性能。本论文研究了TiO2纳米管阵列的制备工艺,TiO2纳米管阵列的湿度敏感特性,以及进行了复阻抗和等效电路的研究.首先,以纯钛板为原料,采用阳极氧化法在HF电解液中控制不同的实验条件进行阳极氧化.发现阳极氧化电压是影响TiO2纳米管状结构形成的主要因素;而阳极氧化时间则影响TiO2纳米管由无序连续向有序独立的转化;电解液浓度对管壁厚薄的影响最大.通过实验观察到在阳极氧化电压为20V,氧化时间为30min,HF电解液浓度为0.5wt%时,能够得到排列整齐的孔径为50-100nm,孔壁厚约20-30nm的TiO2纳米多孔膜.其次,利用磁控溅射镀膜法溅射钛膜。并对钛膜进行阳极氧化制备TiO2纳米管。讨论了溅射功率、气压、温度和时间等因素对钛层性质的影响。通过实验认为,溅射功率是保证获得连续致密和足够厚度钛层的主要参数;而溅射气压则影响钛的沉积速率;温度影响薄膜的附着质量;溅射时间与钛层的沉积厚度基本成正比关系.通过实验发现,溅射功率为200W,溅射气压为0.5Pa,基片温度为250℃时,溅射2h的钛膜厚度大约为1.2μm。对此条件下制备的钛膜进行阳极氧化可以得到TiO2纳米管。最后,采用复阻抗谱方法测量TiO2薄膜的电阻一电抗曲线和相位角—频率曲线,提出了试样的等效电路模型。分析认为试样的等效电路由两个串联的RC并联回路组成,由此拟合出等效电路各元件的参数值。为探讨TiO2纳米管阵列的表面活性,测量了阵列薄膜在不同湿度下的特性,表明薄膜对湿度有明显的响应。
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全文目录
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中图分类: > 工业技术 > 一般工业技术 > 工程材料学 > 特种结构材料
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