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基于嵌入式碳纳米管的悬臂梁生物检测技术研究

作 者: 陈凌之
导 师: 程秀兰
学 校: 上海交通大学
专 业: 微电子学与固体电子学
关键词: 生物检测 单壁碳纳米管 悬臂梁
分类号: TP274
类 型: 硕士论文
年 份: 2011年
下 载: 26次
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内容摘要


先进的微纳米加工技术使得悬臂梁等器件在生物检测领域有了越来越广阔的应用,但是传统的信号读取方式却限制了这项技术的发展。光学检测技术难以集成,而基于压阻效应的电学检测技术的灵敏度难以满足要求。针对此现状,本文提出了一种悬臂梁和碳纳米管技术相结合的手段,以提高检测精度。本文首先评估了基于嵌入式MOS管的悬臂梁检测技术,然后评估了嵌入式碳纳米管的悬臂梁检测技术,从检测灵敏度分析上比较二者的性能,发现使用碳纳米管技术代替传统的压阻读取方式,能大大提高生物检测的性能。

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中图分类: > 工业技术 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 数据处理、数据处理系统
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