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ZnSe红外窗口材料加工、镀膜及性能研究

作　者: 么艳平
导　师: 张玉兰
学　校: 长春理工大学
专　业: 材料物理和化学
关键词: ZnSe红外窗口材料化学机械抛光增透膜性能测试
分类号: TB39
类　型: 硕士论文
年　份: 2006年
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内容摘要

本文对ZnSe红外窗口材料的化学机械抛光、抛光后性能、10.6μm增透膜的设计制备和镀膜后的性能进行分析。ZnSe是一种理想的红外窗口材料，首先分析了ZnSe材料的力学光学性能，然后介绍了在大量实验的基础上所探索出了一套实用的、行之有效的整盘加工工艺，讨论了影响抛光效率的因素以及加工过程对ZnSe材料的宏观应力的影响，并对加工后的ZnSe材料的工艺参数、表面质量和透过率进行测试，证明我们所采用的化学机械加工法是很高效实用的光学加工法。最后设计了ZnSe材料为基底10.6μm红外增透膜，分析膜料和蒸发源材料的选择，以及对镀膜后ZnSe零件的光学性能和牢固性等各项性能进行测试，表明光学性能和牢固性皆优。

全文目录

摘要  3-4
ABSTRACT  4-5
目录  5-6
第一章绪论  6-12
  §1.1 ZnSe是一种理想的窗口材料  6-8
  §1.2 化学机械抛光技术的研究现状  8-10
  §1.3 薄膜光学的研究现状  10-11
  §1.4 本课题背景及研究目的  11
  §1.5 本文研究的主要内容  11-12
第二章 ZnSe晶体的性能和生长技术  12-19
  §2.1 ZnSe晶体的力学和光学性能  12-15
  §2.2 ZnSe红外窗口材料的制备技术研究进展  15-19
第三章 ZnSe晶体的冷加工工艺  19-54
  §3.1 ZnSe透镜技术指标  19-21
  §3.2 晶体缺陷的检测  21
  §3.3 ZnSe晶体的定向和切割  21-22
  §3.4 ZnSe零件的定心磨边  22-23
  §3.5 ZnSe零件的粗磨  23-25
  §3.6 ZnSe零件的抛光  25-34
  §3.7 加工对ZnSe零件的宏观应力的影响  34-50
  §3.8 加工后零件的性能测试  50-54
第四章 ZnSe零件的镀膜工  54-74
  §4.1 双层增透膜的设计  54-64
  §4.2 光学薄膜材料和蒸发源材料的选择  64-67
  §4.3 薄膜的制备工艺  67-72
  §4.4 镀膜之后零件的性能测试  72-74
结论  74-75
致谢  75-76
参考文献  76-78
长春理工大学硕士学位论文原创性声明  78
长春理工大学学位论文版权使用授权书  78

ZnSe红外窗口材料加工、镀膜及性能研究

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