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三维腹腔镜端面宽带增透膜技术的研究

作　者: 魏孜洵
导　师: 付秀华
学　校: 长春理工大学
专　业: 光学工程
关键词: 三维腹腔镜 光学增透膜 真空镀膜 离子辅助沉积
分类号: O484.41
类　型: 硕士论文
年　份: 2011年
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内容摘要


三维腹腔镜由多组镜片组成,要求其透过率高、成像不失真。根据其使用要求,选择合适的薄膜材料,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,利用膜系设计软件进行设计分析,通过调整镀膜工艺参数,采用光控与晶控同时监控的方法,减少了膜厚控制误差,在多组镜片上制备增透膜。经测试：制备的膜层在400-700nm波段的平均反射率小于0.5%而且颜色不失真,膜层牢固,抗腐蚀效果较好,满足医用光学仪器的使用要求。

全文目录


摘要  4-5
Abstract  5-6
目录  6-7
第一章 绪论  7-11
  1.1 腹腔镜及光学薄膜的发展概述  7-10
  1.2 腹腔镜的研究背景及内容  10-11
第二章 薄膜光学基本理论  11-24
  2.1 电磁波理论  11-12
  2.2 薄膜相关干涉原理  12-16
  2.3 单层薄膜的特性矩阵和导纳  16-19
  2.4 多层薄膜的特性矩阵和导纳  19-22
  2.5 光学薄膜的特性矩阵  22-24
第三章 三维腹腔镜增透膜材料的选择  24-29
  3.1 基底材料  24-26
  3.2 膜层材料的选取  26-29
第四章 三维腹腔镜的膜系设计  29-35
  4.1 膜系设计的基本理论  29-31
  4.2 膜系设计的优化原理  31-33
  4.3 膜系的确定  33-35
第五章 三维腹腔镜的膜系制备  35-44
  5.1 薄膜设备  35-37
  5.2 离子辅助沉积技术  37-38
  5.3 膜层监控的影响  38-39
  5.4 工艺因素的影响  39-41
  5.5 膜层的制备过程  41-44
第六章 实验数据与测试结果分析  44-48
结论  48-49
致谢  49-50
参考文献  50

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中图分类: > 数理科学和化学 > 物理学 > 固体物理学 > 薄膜物理学 > 薄膜的性质 > 光学性质
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