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光纤EFPI压力传感器长期稳定性研究
作 者: 曲本波
导 师: 于清旭
学 校: 大连理工大学
专 业: 光学工程
关键词: 光纤EFPI传感器 激光化学气相沉积 长期稳定性 涂碳光纤 拉曼光谱
分类号: TP212.14
类 型: 硕士论文
年 份: 2011年
下 载: 83次
引 用: 1次
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内容摘要
光纤传感器在应用于油井下压力和温度监测时,光纤传感器可以承受高温高压的恶劣环境,同时可以电绝缘、耐腐蚀,越来越受到科研工作者与公司的重视与研究。但是光纤EFPI传感器在高温高压环境应用中,液体分子会渗入到石英材料的缺陷中,从而使得石英材料的体积膨胀,使光纤EFPI压力传感器的发生漂移,影响光纤EFPI压力传感器的长期稳定性。因此如何保证光纤EFPI压力传感器的长期稳定性是一个急需解决的问题。本文在充分借鉴前人研究成果的基础上,对光纤EFPI压力传感器用于高温高压环境下的长期稳定性进行了系统的、详细的、深入的研究。首先对光纤传感器的长期稳定性方面的发展状况作一简单介绍,分析了光纤EFPI压力传感器稳定性差的具体原因;然后对改善光纤EFPI传感器稳定性的方法进行扼要的论述,得出需要在光纤传感器表面涂覆碳膜的结论。通过对涂覆碳膜方法的比较,重点开展了激光化学气相沉积方法的理论和实验研究,设计搭建了一套完整的激光化学气相沉积系统,实现了光纤EFPI传感器表面碳膜涂覆。通过优化实验参数,成功改善了光纤EFPI压力传感器的稳定性,在300℃高温和72Mpa压强下接近一年的时间内,传感器腔长在经历了短时间稳定期间后,无明显单一方向变化趋势。实验表明,传感器可以满足0~72MPa测量范围内高重复性、高精度、长期可靠的测量,具有很高的工业应用价值。
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全文目录
摘要 4-5 Abstract 5-8 1 绪论 8-17 1.1 光纤EFPI传感器发展概述 8-10 1.2 光纤EFPI传感器长期稳定性发展概述 10-15 1.2.1 光纤涂覆碳膜的发展概述 10-14 1.2.2 光纤EFPI传感器的长期稳定性发展概述 14-15 1.3 本文的研究背景和主要研究内容 15 1.4 本文的组织结构 15-17 2 光纤EFPI传感器 17-25 2.1 光纤F-P传感器基本原理 17-19 2.2 光纤F-P传感器的解调方法 19-21 2.2.1 强度解调 19-20 2.2.2 相位解调 20-21 2.3 光纤EFPI传感器结构 21-22 2.4 光纤EFPI压力传感器高温高压下应用的关键技术问题 22-25 3 光纤EFPI传感器涂覆碳膜的研究 25-39 3.1 化学气相沉积的原理及分类 25-26 3.2 光纤涂覆碳膜的化学气相沉积反应 26-28 3.3 光纤EFPI传感器表面LCVD涂覆碳膜 28-30 3.4 温度监测 30-31 3.5 扫描电镜观测 31-34 3.6 拉曼光谱测试 34-39 3.6.1 比值R与反应温度的关系 35-36 3.6.2 比值R与反应压强的关系 36-37 3.6.3 比值R与反应气体的关系 37-38 3.6.4 与商业用涂碳光纤拉曼光谱比较 38-39 4 光纤EFPI传感器的长期稳定性研究 39-48 4.1 高温高压下传感器的长期稳定性考核 39-42 4.2 涂碳传感器的迟滞考核 42-43 4.3 涂碳传感器的重复性考核 43-44 4.4 光纤传感器的精确度考核 44-45 4.5 光纤EFPI压力传感器应用实例 45-48 结论 48-49 参考文献 49-53 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 53-54 致谢 54-55
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中图分类: > 工业技术 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器(变换器)、传感器 > 物理传感器 > 光传感器
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