学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示
多自由度精密磁悬浮定位平台的设计与研究
作 者: 周振雄
导 师: 杨建东
学 校: 长春理工大学
专 业: 机械制造及其自动化
关键词: 磁悬浮 解耦 自抗扰 状态反馈 非线性 定位
分类号: TH703
类 型: 博士论文
年 份: 2012年
下 载: 9次
引 用: 0次
阅 读: 论文下载
内容摘要
针对国内微电子制造行业对于精密定位装备的迫切需求,本文研制出一种多自由度磁悬浮精密定位平台。在结构设计的基础上,重点开展了系统建模与控制策略的研究。本文提出了一种TU形结构的精密磁悬浮定位平台,并对其进行了机械结构和磁路的设计与分析,运用Maxwell3D进行了磁场和悬浮力的有限元分析,运用Patran/Nastran进行了模态分析。该平台包括悬浮系统和水平位移系统。建立了悬浮系统的动力学模型,针对悬浮系统具有多变量、非线性、强耦合的特点,提出一种改进自抗扰控制策略,实现解耦和抑制扰动,该策略不仅可以对系统内部和外部扰动进行观测和补偿,以实现解耦控制,而且克服了常规自抗扰控制器的非线性误差反馈控制律中非线性函数不平滑性,提高系统控制品质。仿真对比分析和试验测试表明,本文提出的这种改进自抗扰控制策略应用到悬浮系统控制中,系统响应平滑,扰动作用时波动幅度小、恢复时间短,且动子水平位置变化对悬浮系统的影响得到了有效抑制。建立了水平位移系统的动力学模型,然后对其采用状态反馈解耦控制进行研究,研究表明状态反馈解耦控制性能受动子水平位置变化影响较大。因此,本文还提出一种改进自抗扰控制策略进行水平位移系统解耦控制,并探索出相关参数整定规则。理论和仿真对比分析表明,采用改进自抗扰控制,可使水平位移系统具有定位精度高、响应速度快、鲁棒性好等优点。在进行相关理论研究的基础上,研制出试验样机,并进行了性能测试,其定位精度达到1μm,能够满足微电子制造行业亚微米级定位指标的要求。
|
全文目录
摘要 4-5 ABSTRACT 5-6 目录 6-8 第一章 绪论 8-17 1.1 引言 8-9 1.2 定位平台的现状及发展趋势 9-13 1.3 磁悬浮技术的研究与发展 13-14 1.4 磁悬浮定位平台的研发动态 14-15 1.5 本文的主要研究内容 15-16 1.6 本章小结 16-17 第二章 磁悬浮技术与直线驱动技术 17-26 2.1 磁力分析 17-21 2.2 磁悬浮技术 21-22 2.3 磁悬浮轴承技术 22-23 2.4 直线驱动技术 23-25 2.5 本章小结 25-26 第三章 磁悬浮定位平台的设计 26-47 3.1 磁悬浮定位平台的设计理念 26 3.2 结构设计与分析 26-30 3.3 磁路设计与分析 30-39 3.4 平台磁力特性有限元分析 39-44 3.5 动子模态分析 44-46 3.6 本章小结 46-47 第四章 悬浮系统的建模与控制 47-83 4.1 悬浮力的分析模型 47-54 4.2 悬浮力模型的验证和参数估计 54-57 4.3 悬浮系统的动力学模型 57-60 4.4 自抗扰控制机理 60-69 4.5 基于改进自抗扰的悬浮控制 69-74 4.6 悬浮控制仿真研究 74-77 4.7 基于ADRC的悬浮控制稳定性分析 77-81 4.8 本章小结 81-83 第五章 水平位移系统的建模与控制 83-105 5.1 水平位移系统的精确数学模型 83-86 5.2 状态反馈解耦控制机理 86-89 5.3 基于状态反馈解耦的水平位移控制 89-96 5.4 基于自抗扰的水平位移控制 96-103 5.5 本章小结 103-105 第六章 磁悬浮定位平台控制系统设计及试验 105-125 6.1 主要硬件电路设计 105-113 6.2 软件程序设计 113-119 6.3 试验装置与试验结果 119-124 6.4 本章小结 124-125 结论 125-128 致谢 128-129 参考文献 129-134 附录一 控制器最小系统电路图 134-135 附录二 图目录 135-138 附录三 攻读博士期间发表的学术论文 138-139 附录四 攻读博士期间参与的项目和获得的奖励 139
|
相似论文
- 分布式移动多载舰OTHR系统姿态测量方法的研究,P228.4
- 八作动器隔振平台的六自由度容错控制研究,TB535.1
- 调频式电容位移传感器高速测频与非线性校正技术研究,TH822
- 基于陀螺和星敏感器的卫星姿态确定研究,V448.2
- 混凝土高拱坝三维非线性有限元坝肩稳定分析研究,TV642.4
- 带填充墙框架结构非线性有限元分析,TU323.5
- 配电网故障定位与网络重构算法的研究,TM727
- 基于FPGA的射频功放数字预失真器设计,TN722.75
- 基于UWB脉冲信号的测距定位技术,TN929.5
- 基于直扩序列的多普勒无线定位技术研究,TN914.42
- 医用电磁导航实验系统的研究,TN966
- 基于嵌入式图像处理单元的运动目标跟踪系统研究,TP391.41
- 红外成像目标模拟电阻阵电控系统研制,TJ765.4
- 非线性变结构导引规律的研究,TJ765
- 无线传感器网络中定位攻击检测技术研究,TP212.9
- 基于无源性的控制及其在磁悬浮系统中的应用,TP13
- 高精度重型数控机床C轴分度装置的设计及分析,TG659
- 陀螺稳定平台伺服控制系统研究,TJ765
- 电视文化生态的建构,G220
- 两类非线性波动方程的行波解,O175.29
- 草鱼呼肠孤病毒vp5、vp7基因cDNA的克隆、表达及VP5、VP7蛋白亚细胞定位研究,S941.41
中图分类: > 工业技术 > 机械、仪表工业 > 仪器、仪表 > 一般性问题 > 结构
© 2012 www.xueweilunwen.com
|