学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

基于ARM的扩散/氧化控制系统的设计

作　者: 张永勇
导　师: 卢燕；张天开
学　校: 青岛理工大学
专　业: 控制理论与控制工程
关键词: 扩散/氧化 ARM WinCE 数据库智能仪表
分类号: TP273.5
类　型: 硕士论文
年　份: 2010年
下　载: 12次
引　用: 0次
阅　读: 论文下载

内容摘要

随着计算机技术的发展,近几年智能电子产品进入人们的生活,渐渐改变和优化人们的生活。在控制领域,同样感受到智能时代的到来。高速、稳定、可视化、智能化是现代仪表技术的显著特点。在满足工业需要的同时,智能仪表大大解放了生产力。扩散/氧化作为半导体工艺生产线上非常重要的一种工艺设备,必须能够高精度、高稳定性、长时间连续工作。现如今,扩散/氧化设备主要由PLC和工控机组成。随着智能电子产品的出现和得到认可,一种基于新一代处理器—ARM的扩散/氧化设备的出现成为可能。ARM是基于RISC技术开发的芯片,具有功能强、功耗小和拥有32位/16位双指令集。课题主要研究基于ARM的扩散/氧化控制系统。本课题应用的控制器S3C2440内部有丰富资源,并且具有主频高和扩展灵活的特点,能够实现具有友好人机界面的控制系统。为了更好的观察系统的温度变化,系统需要开发温度趋势图,使温度变化一目了然。本文将首先介绍系统的整体解决方案,并对硬件的基本原理以及在本系统中的作用做相应的介绍。本系统采用WinCE,可以快速开发系统需要的驱动和应用程序。WinCE系统可以完美的实现系统画面,使系统更加人性化。在本系统中,为了实现数据的存储,系统使用WinCE的CEDB数据库。

全文目录

摘要  5-6
Abstract  6-10
第1章绪论  10-12
  1.1 课题背景  10
  1.2 扩散氧化炉的现状  10-11
  1.3 本课题的主要目的和意义  11-12
第2章系统总体方案  12-19
  2.1 扩散/氧化系统运行特点介绍  12
  2.2 系统性能指标  12-13
  2.3 系统的组成部分  13-15
  2.4 系统处理器和操作系统的选择  15-18
    2.4.1 处理器的选择  15-17
    2.4.2 嵌入式操作系统的选择  17-18
  2.5 本章小结  18-19
第3章扩散/氧化控制系统的硬件结构设计  19-30
  3.1 CPU 外围模块  19-22
    3.1.1 复位电路  19
    3.1.2 时钟电路  19-20
    3.1.3 FLASH 接口电路  20-21
    3.1.4 SDRAM 接口  21-22
    3.1.5 带触摸屏的LCD 硬件接口电路  22
  3.2 电源模块  22-23
  3.3 温度AD 模块  23-25
  3.4 可控硅输出  25-26
  3.5 气路质量流量AD 转换  26-28
  3.6 电磁阀输出控制电路  28
  3.7 气路质量流量DA 转换电路  28-29
  3.8 推拉舟模块  29
  3.9 本章小结  29-30
第4章驱动与应用程序开发  30-47
  4.1 Windows CE 简介  30-32
    4.1.1 Windows CE  30
    4.1.2 BSP  30-31
    4.1.3 Windows CE 驱动  31-32
    4.1.4 流驱动  32
  4.2 驱动开发  32-37
    4.2.1 通用I/O 驱动  32-34
    4.2.2 中断驱动  34-36
    4.2.3 PWM 和定时器驱动  36-37
  4.3 应用程序开发  37-46
    4.3.1 应用程序中数据的输入输出函数  38-39
    4.3.2 数据库  39-43
    4.3.3 系统的人机界面  43-46
  4.4 本章小结  46-47
第5章系统的调试运行  47-52
  5.1 系统的调试  47-48
    5.1.1 系统的硬件调试  47-48
    5.1.2 系统的软件调试  48
  5.2 系统的运行  48-51
    5.2.1 温度采集控制输出运行流程  48
    5.2.2 气路控制系统的流程  48-50
    5.2.3 系统总的运行流程图  50-51
  5.3 本章小结  51-52
结论  52-53
参考文献  53-55
攻读硕士学位期间发表的学术论文  55-56
致谢  56-57
附录  57-60

基于ARM的扩散/氧化控制系统的设计

内容摘要

全文目录

相似论文