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红外跟踪系统中硅透镜的加工技术研究

作　者: 马放
导　师: 付秀华
学　校: 长春理工大学
专　业: 光学工程
关键词: 单晶硅透镜非球面面型精度中心偏差
分类号: TG580.6
类　型: 硕士论文
年　份: 2012年
下　载: 58次
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内容摘要

近年来,随着光学领域的飞速发展,单晶硅作为应用最广泛的红外光学材料,在红外光学系统中的地位越来越重要。本文针对Φ24mm的单晶硅透镜,以计算机控制光学表面成形技术以及Preston理论为基础,通过反复多次的对比实验研究和检测分析,提出高效、快捷的加工工艺流程,设计了符合硅透镜参数要求的夹具,解决了单晶硅透镜很难控制中心偏差的加工技术难题,并实现了小批量生产。经过轮廓检测仪和Zygo干涉仪检测,单晶硅透镜非球面面型精度能够达到0.2μm,表面光洁度达到Ⅲ级以上,中心偏差小于1μm,各项参数均满足红外光学系统的要求。

全文目录

摘要  4-5
Abstract  5-6
目录  6-7
第一章绪论  7-11
  1.1 引言  7
  1.2 非球面加工技术的发展现状  7-9
  1.3 课题研究内容及其要求  9-11
第二章数控加工非球面技术的理论基础  11-26
  2.1 非球面度理论知识  11-13
  2.2 晶体表面抛光工艺的探索  13-21
  2.3 普林斯顿(Preston)假设方程  21-22
  2.4 去除特征函数的推导  22-23
  2.5 驻留时间的求解算法  23-26
第三章非球面单晶硅的研抛工艺研究  26-37
  3.1 全口径误差控制  26-27
  3.2 单晶硅研磨工艺参数研究  27-29
  3.3 单晶硅抛光过程的影响因素  29-35
  3.4 非球面单晶硅的检测技术  35-37
第四章非球面单晶硅的加工实验研究及结果分析  37-47
  4.1 Φ24mm单晶硅的加工工艺研究  37-45
  4.2 测试结果误差分析  45-47
第五章总结  47-48
致谢  48-49
参考文献  49-50

红外跟踪系统中硅透镜的加工技术研究

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