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光纤激光器光学膜的研究与制备

作　者: 梅禹珊
导　师: 付秀华
学　校: 长春理工大学
专　业: 光学工程
关键词: 真空镀膜减反膜高反膜多模光纤
分类号: TN248
类　型: 硕士论文
年　份: 2011年
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内容摘要

为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失,针对多模光纤和光学系统中的光学零件,根据光学薄膜的理论,设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜。并对激光膜的镀膜材料、膜系设计、沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究。利用真空镀膜技术,利用TFC软件进行膜系设计,有效的提高了激光损伤阈值,解决了低温冷镀的膜层牢固性问题。通过对镀制后基片的测试结果分析,调整镀膜工艺参数和监控方法减小了膜厚误差。制备的减反膜的反射率R<0.2%,高反射膜当激光以25°—65°入射时,其反射率R>99.7%。

全文目录

摘要  4-5
Abstract  5-6
目录  6-7
第一章绪论  7-12
  1.1 光学薄膜的发展历史与现状  7-9
  1.2 光学薄膜的应用  9-10
  1.3 激光薄膜的应用  10-12
第二章课题提出及主要工作的安排  12-14
  2.1 激光薄膜研究的意义  12
  2.2 课题的提出  12-13
  2.3 本课题的主要工作  13-14
第三章光学薄膜的理论基础  14-28
  3.1 光学薄膜的多光束干涉原理  14-17
  3.2 光学薄膜的特性矩阵和导纳  17-23
  3.3 光学薄膜特性计算  23-28
第四章膜系设计  28-40
  4.1 光学薄膜材料的选择  28-32
  4.2 膜系设计  32-33
  4.3 膜系设计方案的选择  33-40
第五章镀制工艺  40-57
  5.1 真空镀膜设备的简单介绍  40-42
  5.2 实验监控  42-50
  5.3 镀制薄膜的工艺过程  50-53
  5.4 影响工艺的因素  53-55
  5.5 离子源  55-57
第六章测试结果与分析  57-60
结论  60-61
致谢  61-62
参考文献  62-63

光纤激光器光学膜的研究与制备

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