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基于工作流的半导体制造离散事件仿真引擎研发

作　者: 过纯中
导　师: 乔非；李莉
学　校: 同济大学
专　业: 系统工程
关键词: 离散事件系统仿真工作流调度半导体制造
分类号: F407.63
类　型: 硕士论文
年　份: 2007年
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内容摘要

论文完成了一种新的离散事件仿真引擎理论建立和实际软件开发。基于工作流理论构建离散半导体制造企业模型消除了半导体企业中加工设备、程序和缓冲区三者间的紧密多对多耦合关系，从而大幅度简化了实际半导体模型的建立工作，也更符合相应调度算法的针对单缓冲区的要求。基于工作流的半导体制造离散事件仿真引擎同很多现有的商业仿真软件不同，将产品流程同物理设备分开描述，从而更加符合半导体生产线多个流程同时在同一生产线加工的建模需求。针对基于新理论的仿真引擎仿真速度缓慢的问题，论文还提出了一种新的优化方法——分区加速，使得在不增加任何模型复杂度的情况下，获得了普遍情况下150％，极端情况下360％的仿真运行速度效率提升。

全文目录

摘要  6-7
ABSTRACT  7-11
第1章项目背景和研究现状  11-23
  1.1 半导体生产线概述  11-12
  1.2 半导体生产线调度  12
  1.3 离散事件仿真  12-13
  1.4 某半导体生产线仿真建模项目的启示  13-17
    1.4.1 项目总结与概述  13-14
    1.4.2 生产线模型的加载  14-15
    1.4.3 Simul8仿真软件的问题  15-17
    1.4.4 Simul8的结论  17
  1.5 常用仿真软件分析  17-19
    1.5.1 以设备为中心的仿真软件  18-19
    1.5.2 以流程为中心的仿真软件  19
    1.5.3 仿真软件的结论  19
  1.6 半导体生产执行系统模型  19-22
    1.6.1 流程模型  20-21
    1.6.2 物理模型  21
    1.6.3 执行引擎  21-22
  1.7 论文组织结构介绍  22-23
第2章离散事件仿真引擎DESE  23-36
  2.1 DESE项目的设计原则  23-24
  2.2 DESE的功能设计  24
  2.3 DESE仿真引擎的架构  24-36
    2.3.1 不同数据库和配置选择  26-28
    2.3.2 工作流  28-34
    2.3.3 随机事件产生  34
    2.3.4 可复用于MES系统的调度算法库  34
    2.3.5 仿真事件记录  34-36
第3章 DESE内部实现  36-58
  3.1 .NET平台  36-43
    3.1.1 .NET平台简介  36-37
    3.1.2 XML Schema到.NET类自动映射  37-38
    3.1.3 XML文件的对象方式读取  38-39
    3.1.4 泛型数据容器类  39-43
  3.2 XML技术  43-47
    3.2.1 XML Schema基础  44
    3.2.2 XML Schema在DESE项目中的应用简介  44-47
    3.2.3 基于Schema的XML格式与二进制文件格式比较和结论  47
  3.3 虚拟缓冲区  47-50
  3.4 工作流组件  50-52
    3.4.1 工作流组件的作用  50-51
    3.4.2 应用工作流组件API  51-52
  3.5 分区加速  52-55
    3.5.1 分区加速原理  52-53
    3.5.2 分区加速结果分析  53
    3.5.3 核心代码对比分析  53-55
  3.6 仿真模型信息树  55-58
    3.6.1 调度算法的扩展开发  56-57
    3.6.2 投料算法的扩展开发  57-58
第4章应用DESE仿真半导体生产线  58-74
  4.1 企业仿真建模理论和数据库  58-59
  4.2 导入和建立模型  59-65
    4.2.1 手工建模  60-62
    4.2.2 自动导入建模  62-65
  4.3 指定调度算法  65-66
  4.4 指定投料算法  66-67
  4.5 运行模型  67-68
  4.6 获得模型统计模型的性能指标  68-69
  4.7 基于CIMSDB的生产线实例仿真  69-73
    4.7.1 使用测试台仿真程序界面  69-71
    4.7.2 测试台仿真程序分析  71-72
    4.7.3 运行结果  72-73
  4.8 DESE仿真引擎的当前版本功能一览  73-74
第5章论文总结和展望  74-77
  5.1 结语  74-75
  5.2 DESE的进一步完善  75-77
附录如何取得DESE仿真引单的源代码  77-78
论文使用的软件  78-80
参考文献  80-82
致谢  82-83
个人简历在读期间发表的学术论文与研究成果  83

基于工作流的半导体制造离散事件仿真引擎研发

内容摘要

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