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MEMS压阻式加速度传感器的研究

作　者: 张艳凤
导　师: 姜德龙；田景全；张威；郝一龙
学　校: 长春理工大学
专　业: 微电子学与固体电子学
关键词: 微电子机械系统 压阻 加速度传感器 “三明治”结构
分类号: TP212.1
类　型: 硕士论文
年　份: 2004年
下　载: 381次
引　用: 4次
阅　读: 论文下载
 

内容摘要


论文简述了微电子机械系统(MEMS)技术的发展概况，并对MEMS压阻式加速度传感器进行了研究。详细介绍了压阻式加速度传感器的工作原理和结构特性，具体讨论了器件的设计、工艺、封装和测试。 传感器设计采用超稳的四梁对称结构，有效的减少了由于结构不对称和压阻的位置偏差带来的误差。此外，该传感器采用了“三明治”结构，在结构的上下盖帽中设计了限位挡块，解决了传感器抗高过载的难题。并利用有限元分析软件对我们所设计的加速度传感器微结构进行模拟，在确定结构之后，利用L-edit软件绘制了版图。详细地讨论了MEMS压阻式加速度传感器的工艺流程，对流片过程中遇到的一些问题进行了讨论，对工艺中的一些缺陷提出了一定的改进意见。最后，对器件进行封装和测试，传感器的封装提供了芯片内部与外界的电气连接、机械支撑和环境保护，传感器的测试包括试验方法和试验结果，测试结果验证了产品的性能指标。

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中图分类: > 工业技术 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器（变换器）、传感器 > 物理传感器
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