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大气压沿面介质阻挡放电的发射光谱诊断
作 者: 尚建平
导 师: 朱爱民
学 校: 大连理工大学
专 业: 等离子体物理
关键词: 介质阻挡放电 发射光谱 激发温度 振动温度 转动温度
分类号: O433.5
类 型: 硕士论文
年 份: 2010年
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内容摘要
本文对大气压沿面介质阻挡放电进行了发射光谱研究。测定了Ar放电、N2/Ar放电、O2/Ar放电及O2/N2/Ar放电的电子激发温度、分子振动温度和气体温度,并对O2/Ar放电和O2/N2/Ar放电中O原子浓度的优化进行了定性分析。在Ar放电中,利用玻尔兹曼图法拟合了Ar原子的激发温度,并考察了激发温度随气体流量和输入电压的变化规律,发现激发温度随输入电压的增加而增加,但随气体流量的变化规律不明显;Ar中的少量水蒸气通过放电产生了OH谱线,本文利用拟合OHA态转动温度的方法考察了Ar放电的气体温度随放电条件的变化趋势,结果显示,在我们所考察的条件范围内,Ar放电的气体温度大约为450 K,基本不受气体流量和输入电压的影响。在N2/Ar放电中,着重考察了放电气体中N2含量对等离子体的影响,选取N2C3∏u—B3∏g的四个顺序带组(Δv=-1,Δv=-2,Δv=-3,Δv=-4)拟合了N2 C态的振动温度。发现在Ar中加入约1%的N2就会使Ar谱线强度大幅降低而N2谱线强度大幅增加;随着N2含量由0.1%增加至5%,Ar的电子激发温度从约4400 K增加至约6000 K,而N2 C态的振动温度由约2300 K下降至约1800 K。在02/Ar放电和02/N2/Ar放电中着重对O原子浓度的优化进行了讨论。利用O原子和Ar原子的谱线强度比I844.6/I750.4研究了O原子浓度随O2含量的变化趋势,结果发现,在两种放电体系中O2含量为气体总流量的0.15%左右时,O原子浓度达到最大值,O2流量继续加大时,O原子浓度缓慢下降。此外,还研究了O2/Ar放电和O2/N2/Ar放电中Ar原子激发温度随输入电压的变化规律,激发温度均随输入电压的增加而增加。
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全文目录
摘要 4-5 Abstract 5-10 引言 10-11 1 介质阻挡放电及诊断方法 11-15 1.1 介质阻挡放电概述 11-13 1.1.1 介质阻挡放电的物理过程 11 1.1.2 介质阻挡放电的应用 11-13 1.1.3 沿面介质阻挡放电 13 1.2 等离子体的诊断方法 13-14 1.3 研究背景 14-15 2 发射光谱简介 15-25 2.1 发射光谱的基本原理 15-16 2.2 原子光谱 16 2.2.1 跃迁和选择定则 16 2.2.2 谱线强度 16 2.3 双原子分子光谱 16-19 2.3.1 双原子分子的能级 17-18 2.3.2 原子分子的谱线结构 18 2.3.3 原子分子跃迁的选择定则 18-19 2.4 发射光谱的谱线展宽机制 19-20 2.5 发射光谱在等离子体物理诊断中的应用 20-25 2.5.1 物种的鉴定 20 2.5.2 等离子体的电子温度、电子密度的测定 20-21 2.5.3 等离子体电子激发温度的测定 21-22 2.5.4 等离子体振动温度的测定 22-23 2.5.5 等离子体气体温度的测定 23-24 2.5.6 等离子体中粒子浓度的测定——内标法(Optical Actinometry) 24-25 3 实验装置和实验方法 25-29 3.1 实验装置 25-27 3.1.1 实验装置图 25 3.1.2 电极结构 25-26 3.1.3 发射光谱诊断系统 26-27 3.2 电压-电流波形及功率测定 27-29 3.2.1 电压-电流波形及功率测定示意图 27 3.2.2 放电功率测量原理 27-29 4 Ar沿面介质阻挡放电的发射光谱分析 29-40 4.1 Ar放电的电流电压波形及放电功率 29-30 4.1.1 电流电压波形及放电功率 29-30 4.1.2 放电功率随输入电压的变化 30 4.2 发射光谱图及谱线 30-31 4.3 大气压Ar沿面介质阻挡放电激发温度的测定 31-35 4.3.1 Ar介质阻挡放电等离子体激发温度随输入电压的变化 32-34 4.3.2 氩气介质阻挡放电等离子体激发温度随气体流量的变化 34-35 4.4 大气压Ar沿面介质阻挡放电的气体温度的测定 35-39 4.4.1 Ar等离子体气体温度测定 35-38 4.4.2 转动温度随气体流量的变化 38 4.4.3 转动温度随输入电压的变化 38-39 4.5 本章小结 39-40 5 N_2/Ar沿面介质阻挡放电的发射光谱分析 40-50 5.1 N_2/Ar等离子体发射光谱图 40-41 5.2 N_2含量对N_2/Ar等离子体的影响 41-47 5.2.1 N_2含量对谱线强度的影响 41-43 5.2.2 N_2含量对激发温度的影响 43-44 5.2.3 N_2/Ar放电振动温度随放电条件的变化趋势 44-47 5.2.4 小结 47 5.3 输入电压对N_2/Ar等离子体的影响 47-49 5.3.1 输入电压对激发温度的影响 47-49 5.3.2 输入电压对振动温度的影响 49 5.4 本章小结 49-50 6 O_2/Ar、O_2/N_2/Ar沿面介质阻挡放电的发射光谱分析 50-60 6.1 O_2/Ar沿面介质阻挡放电发射光谱图及谱线强度分析 50 6.2 O_2/Ar放电的激发温度测定 50-52 6.2.1 O_2含量对激发温度的影响 50-51 6.2.2 激发温度随输入电压的变化趋势 51-52 6.3 O_2/Ar放电中O原子相对浓度分析 52-56 6.3.1 氧原子浓度随O_2含量的变化趋势 53-55 6.3.2 氧原子浓度随输入电压的变化趋势 55-56 6.4 O_2 /N_2/Ar放电的发射光谱分析 56-60 6.4.1 O_2含量对激发温度的影响 56-57 6.4.2 O_2含量对振动温度的影响 57 6.4.3 O_2含量对O原子浓度的影响 57-60 结论 60-61 参考文献 61-67 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 67-68 致谢 68-70
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中图分类: > 数理科学和化学 > 物理学 > 光学 > 光谱学 > 各类光谱
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