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有机电致发光显示器关键工艺技术及其可靠性的研究

作　者: 庄筱磊
导　师: 李荣玉；陈晨曦
学　校: 上海交通大学
专　业: 电子与通信工程
关键词: 有机电致发光显示器 OLED 可靠性彩色滤光片表面预处理
分类号: TN873
类　型: 硕士论文
年　份: 2009年
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内容摘要

随着有机电致发光显示器(OLED)的不断深入和广泛的研究以及越来越多的应用,使其为人们所熟知,它多姿多彩的应用为当今的信息社会增添了无数斑斓。为使OLED有更加广阔的市场前景,这就需要对OLED显示的制程工艺及可靠性有更高的要求。本文首先总体介绍了OLED的发展概况、结构和显示原理以及OLED制造工艺流程,重点研究了OLED生产工艺当中的两个比较关键的生产工艺技术,针对OLED设计提出了适合其器件产品特点的可靠性评价方法,并制定了可靠性评价方法的和测试流程及测试条件:1)表面预处理工艺研究和改进:主要从生产角度来研究OLED基板表面的预处理工艺的效果,从接触角和方阻值等方面进行测试比较,在进行UV Ozone, Plasma以及两者相结合的表面处理后,通过对其的光电特性。发光效率等测试结果来对各种表面处理的效果进行比较,实验证明在各种表面预处理工艺中,氧UV Ozone加上氧Plasma的处理对提高器件亮度,发光效率的贡献最为显著。在生产工艺中,同时配置UV Ozone和氧Plasma的预处理设备,结合两种处理方式,使得生产的OLED的器件可以达到最佳的性能。2)彩色滤光片CF实行全彩化的工艺研究和改进:基于量产能力角度来考量实现全彩化OLED的技术,比较使用彩色滤色膜(CF)与使用RGB三色排列实现OLED全彩化两种方法的亮度以及表面平整度等光电参数。试验证明:ITO薄膜的粗糙不平、灰尘和针孔等缺陷引起的凸凹不平将引起会使得CF的表面出现属于微米级别的不均匀问题,导致使用CF的全彩OLED的产品会出现可靠性等质量问题。本文提出针对CF在OLED实现全彩化的生产方式中需要解决CF表面的粗糙度,以及阻隔ITO层下面的有机层上水气方面的问题的进行改进和优化。对于OLED的材料开发也提出了新的课题,同时也需要对OLED的器件结构的改进,才能实现更好应用于OLED全彩化。3)OLED可靠性评价方法的研究:现在OLED不像LCD等其他显示器件已经有了统一的评价方法和行业标准,制定OLED评价方法基于学习可靠性相关基础理论知识,在了解和熟悉LCD等相关显示器件的可靠性评价方法和测试方式的基础上设计适合OLED显示器件的可靠性评价方法和测试条件,以达到实行OLED商品化的要求,满足市场对于OLED器件可靠性的要求。本文的工艺研究和改进进一步优化了OLED关键的生产工艺,并制定了OLED的可靠性评价方法,弥补了现有OLED产品上市所缺少地可靠性评价的空白,对于OLED进一步的商品化有着很大的指导意义。

全文目录

摘要  3-5
ABSTRACT  5-7
目录  7-8
第一章 OLED 发展概述  8-25
  1.1 OLED 发展历史  8
  1.2 OLED 显示特点与分类  8-11
  1.3 市场分析  11-17
  1.4 国际OLED 产业发展现状与趋势  17-23
  1.5 本章小结  23-25
第二章 OLED 的构造及显示原理  25-30
  2.1 OLED 显示原理  25-26
  2.2 OLED 的构造  26-29
  2.3 本章小结  29-30
第三章 OLED 的制造工艺流程  30-40
  3.1 OLED 制造过程概述  30-32
  3.2 OLED 光刻工艺  32-36
  3.3 OLED 镀膜工艺  36-38
  3.4 OLED 封装工艺  38-39
  3.5 本章小结  39-40
第四章 OLED 关键工艺技术及其可靠性的研究  40-67
  4.1 OLED 表面预处理工艺的研究  45-48
  4.2 彩色滤色膜实现OLED 全彩化的工艺研究  48-53
  4.3 OLED 可靠性评价方法的研究  53-66
  4.4 本章小结  66-67
第五章全文总结  67-69
  5.1 主要结论  67-68
  5.2 研究展望  68-69
参考文献  69-71
致谢  71-72
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文  72-74

有机电致发光显示器关键工艺技术及其可靠性的研究

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