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基于位移传感器的像差检测光学系统的研究

作 者: 吴倩倩
导 师: 向阳
学 校: 长春理工大学
专 业: 光学工程
关键词: 几何像差 哈特曼法 CCD 光栅位移传感器
分类号: TP212
类 型: 硕士论文
年 份: 2013年
下 载: 7次
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内容摘要


传统的光学系统对于几何像差的检测通常采用星点法、哈特曼法或刀口阴影法等,其测量结果受人为主观因素影响较大、精度不高。为满足光学系统测量像差的精度要求,本系统在传统的哈特曼(Hartmann)检测方法基础上,引入光栅尺位移传感器,结合高分辨率CCD作为光电接收装置,经自动对焦和图像处理,由计算机直接给出测量结果,消除了人为因素影响,提高了测量准确度,操作简易。与传统测量方法相比,降低了测量误差,并提高工作了效率。本文主要是针对实验教学用像差检测系统,对其测量系统和光学系统部分进行研究。本文介绍了基于位移传感器的像差检测系统的工作原理以及系统组成,并确定了位移传感器的类型,设计了平行光管和CCD成像物镜,论述像差测试原理及计算公式,并对测试系统进行了误差分析,为整体的结构设计提供了有利的依据。

全文目录


摘要  4-5
ABSTRACT  5-6
目录  6-7
第一章 绪论  7-14
  1.1 引言  7
  1.2 像差检测的国内外现状  7
  1.3 像差的检测方法  7-12
  1.4 位移传感器的应用情况  12-13
  1.5 研究目的及意义  13
  1.6 主要研究内容  13-14
第二章 像差的基础理论和哈特曼法检测像差概述  14-21
  2.1 像差概述  14-17
  2.2 哈特曼法像差检测原理  17-21
第三章 基于位移传感器的像差检测系统  21-32
  3.1 总体方案  21
  3.2 平行光管  21-26
  3.3 待测系统要求  26-27
  3.4 位移传感器和光电接收系统  27-32
第四章 基于位移传感器的像差检测光学系统设计  32-42
  4.1 平行光管光学系统设计  32-36
  4.2 CCD接收系统光学系统设计  36-42
第五章 像差检测光学系统公差分析  42-47
  5.1 光学系统公差的制定方法与原则  42
  5.2 检测像差光学系统的公差分析  42-47
结论与展望  47-48
致谢  48-49
参考文献  49

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中图分类: > 工业技术 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器(变换器)、传感器
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