学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

激光干涉图形参数检测及分析

作　者: 于君才
导　师: 王作斌
学　校: 长春理工大学
专　业: 检测技术与自动化装置
关键词: 激光干涉入射角度调制周期图形参数检测系统参数分析计算
分类号: TN247
类　型: 硕士论文
年　份: 2013年
下　载: 2次
引　用: 0次
阅　读: 论文下载

内容摘要

激光干涉技术是集激光和干涉于一体的前沿研究课题,它具有大视场、高分辨率、实现方便,成本较低等特点,具有广阔的应用前景。基于激光干涉理论,本论文介绍了两光束和三光束激光干涉图形参数分析以及光束入射条件的讨论。对影响干涉图形结果的主要因素作了深入分析。在两光束激光干涉中,根据条纹图形讨论了对称和非对称入射条件。在三光束情况下,根据获得图形讨论了光束共面和非共面入射条件。分析了三光束位于同一平面能够获得具有调制的干涉图形。激光干涉图形参数及光束入射条件通过仿真和实验进行验证。研究结果将有利于获得理想图形所需干涉系统的设计和校准,尤其在激光干涉光刻方面的应用。

全文目录

摘要  4-5
ABSTRACT  5-8
第1章绪论  8-11
  1.1 引言  8
  1.2 激光干涉技术研究介绍  8-10
  1.3 主要研究内容  10
  1.4 研究目的与意义  10-11
第2章激光干涉理论及干涉图形参数分析  11-18
  2.1 激光干涉理论基础  11
  2.2 双光束激光干涉原理  11-12
  2.3 三光束激光干涉原理  12-14
  2.4 激光干涉图形参数分析  14-17
  2.5 小结  17-18
第3章激光干涉图形模拟仿真  18-28
  3.1 双光束激光干涉图形仿真  18-19
    3.1.1 双光束对称入射干涉图形仿真  18-19
    3.1.2 双光束非对称入射干涉图形仿真  19
  3.2 三光束激光干涉图形仿真  19-27
    3.2.1 三光束共面干涉图形仿真  20-23
    3.2.2 三光束非共面干涉图形仿真  23-24
    3.2.3 干涉面变化时三光束干涉图形仿真  24-27
  3.3 小结  27-28
第4章激光干涉图形参数检测系统  28-31
  4.1 激光干涉图形参数检测系统框图  28
  4.2 双光束激光干涉图形参数检测系统  28-29
  4.3 三光束激光干涉图形参数检测系统  29-30
    4.3.1 三光束共面激光干涉系统  29
    4.3.2 三光束非共面激光干涉系统  29-30
  4.4 小结  30-31
第5章实际干涉图形参数分析计算  31-51
  5.1 双光束激光干涉图形参数分析计算  31-34
    5.1.1 入射光对称条件干涉图形参数分析计算  31-32
    5.1.2 入射光非对称条件干涉图形参数分析计算  32-34
  5.2 三光束激光干涉图形参数分析计算  34-45
    5.2.1 入射光共面条件干涉图形参数分析计算  34-44
    5.2.2 入射光非共面条件干涉图形参数分析计算  44-45
  5.3 激光干涉图形参数计算误差分析  45-50
  5.4 小结  50-51
第6章总结与展望  51-52
参考文献  52-54
致谢  54

激光干涉图形参数检测及分析

内容摘要

全文目录

相似论文