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基于泰曼—格林干涉的球面面形在线检测仪研制

作　者: 韩振华
导　师: 王敏
学　校: 福建师范大学
专　业: 光学工程
关键词: 面形检测泰曼-格林干涉系统 Zemax模拟结构设计
分类号: TH74
类　型: 硕士论文
年　份: 2012年
下　载: 65次
引　用: 1次
阅　读: 论文下载

内容摘要

光学系统作为光学仪器的核心,其性能好坏很大程度上取决于光学元件的质量。球面光学镜片作为最常用的光学元件,对其进行面形检测是光学镜片生产过程中最重要的环节之一。常用于镜片面形检测的方法有：样板法和干涉仪法。样板法属于接触性检验,容易对面形造成二次损伤；干涉仪法属于非接触法,但干涉仪造价昂贵,而且通常只能对单个镜片进行检验。这两种方法都各有缺点,影响光学镜片生产率的提高。本文通过对样板法和干涉仪法的比较,结合光学镜片生产的特点,基于泰曼-格林干涉设计了一种用于光学镜片面形的非接触在线检测的干涉仪。通过Zemax软件模拟分析该系统的光路特征,完成了光学镜片面形检测的方案设计和镜片检验的模拟。根据检测方案,进行零部件的结构选型以及参数确定；完成了整机结构以及相关的部件和调节机构的设计；完成样机的试制,并且进行了样片检测。结果表明,样机基本达到了设计的要求。

全文目录

中文摘要  2-3
Abstract  3-4
中文文摘  4-6
目录  6-8
第1章绪论  8-14
  1.1 背景介绍  8-12
  1.2 背景分析  12
  1.3 论文主要内容  12-14
第2章球面光学镜片面形检验方法及其评价标准  14-22
  2.1 球面光学镜片面形偏差  14
  2.2 球面面形干涉检测原理  14-17
  2.3 典型球面光学镜片面形检验的方法及其评价指标  17-21
  2.4 本章小结  21-22
第3章泰曼-格林球面面形在线检测系统的设计  22-32
  3.1 仪器的设计指标  22-23
  3.2 系统的构成及工作原理  23-24
  3.3 系统的模拟分析  24-27
  3.4 相关器件的选择  27-31
  3.5 本章小结  31-32
第4章泰曼-格林球面面形在线检测仪的结构设计  32-48
  4.1 样机的整体结构设计  32-35
  4.2 固紧机构的设计  35-40
  4.3 光路调节机构的设计  40-44
  4.4 样机主体的设计  44-46
  4.5 材料选择  46
  4.6 杂散光的抑制  46
  4.7 本章小结  46-48
第5章样机装配及实验  48-56
  5.1 样机的装配  48
  5.2 样片检测  48-53
  5.3 样机存在的不足及改进方案  53-54
  5.4 本章小结  54-56
第6章总结与展望  56-58
  6.1 总结  56
  6.2 本文创新点  56-57
  6.3 进一步工作展望  57-58
参考文献  58-60
攻读学位期间承担的科研任务与主要成果  60-62
致谢  62-64
个人简历  64-65

基于泰曼—格林干涉的球面面形在线检测仪研制

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