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点衍射干涉仪基准波前质量测评研究

作　者: 邵晶
导　师: 马冬梅
学　校: 中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）
专　业: 光学工程
关键词: 极紫外光刻点衍射干涉仪基准波前光学检测相位复原
分类号: O436.1
类　型: 博士论文
年　份: 2013年
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内容摘要

点衍射干涉仪利用极小孔径衍射形成近乎理想的球面波作为测试基准波前。这种干涉仪具有极高的检测精度，可以为高精度光刻投影曝光系统的研制提供技术支持。在实际应用中获得高精度基准波前是点衍射干涉仪研制的关键环节之一。因此，对衍射基准波前质量的评估是一项重要的工作。目前，对衍射基准波前质量的测评方法主要有两种：一种是数值仿真分析方法；另一种是采用两个近似相同的衍射光束剪切干涉测量，间接评价出基准波前的质量。第一种方法能够为点衍射干涉仪的研制提供理论依据。第二种方法可以对基准波前进行实际评估。但是，第二种方法测试过程容易受到高频噪声的干扰。另外，由于这种方法建立在参与干涉的两个波前具有一致性基础上，实际中相干波前两者之间的偏差会对测评结果产生影响。因而，研究一种直接测评点衍射干涉仪基准波前的方法，为点衍射干涉仪小孔质量评价与系统集成提供技术支持是非常必要的。相位复原方法是一种直接测试方法，通过采集分析光学星点图像获得光学波前信息。这种方法可以用于点衍射干涉仪基准波前的测评中，以精确获得基准波前中的信息。本文主要围绕点衍射干涉仪基准波前衍射质量测评展开研究，包括相位提取算法研究、测试精度分析、系统误差标定算法研究、相关测试实验分析等。主要的研究内容如下：1.建立小孔衍射的数学模型，确立衍射光强与衍射波前之间的函数关系。根据相位复原机理测评点衍射干涉仪基准波前，首先需要确立衍射图像与衍射波前之间的数学关系。基于扩展奈波尔-泽尼克理论，分析并获得小孔衍射光强与衍射波前的函数关系，为衍射波前相位提取算法的研究建立可靠的数学模型。2.建立用于点衍射干涉仪基准波前测评的相位提取算法。根据衍射光强与衍射波前之间的数学关系，相位复原技术通过相位提取算法从衍射光强中获得波前信息。为满足高精度的测试要求，需要研究适用于小孔衍射波前测评的相位提取算法。设计并建立一种通过光学放大系统对称采集离焦星点图像的多焦面相位提取算法。另外，为了进一步抑制测试环境的干扰，简化测试过程，提出一种单焦面相位提取算法，可以通过单幅衍射图像获得波前信息。3.研究分析衍射波前测评过程中的误差源，对相位提取算法进行计算仿真分析。相位提取算法具有非常高的理论计算精度（优于0.0072nm RMS），但是在实际应用过程中，定位误差、光源功率和频率不稳定性、探测器噪声、采样率、背景杂光等因素都会对测试结果产生影响。通过对这些因素的仿真分析，获得多焦面和单焦面相位提取算法的测试精度分别能够达到0.026nmRMS和0.024nm RMS，可满足对衍射波前的测评要求。4.研究衍射波前测评过程中系统误差标定方法，并对其精度进行分析。所设计的衍射波前测试装置，通过光学放大系统将衍射图像成像到探测器进行采集，通过对采集图像进行分析，获得相关波前信息。但是，光学放大成像系统的波前像差也会被引入到测试结果中。为满足高精度的测试要求，研究了这种测试装置的系统误差标定方法。对标定方法精度进行分析。分析结果表明，标定方法理论精度能够达到2.02×10^-4nm RMS。5.衍射波前测评实验研究。设计并构建衍射波前的测评装置，进行测试分析。通过实验研究，验证了基于相位复原技术进行衍射波前测试方法的有效性。6.扩展应用：光学成像系统波前测试实验研究。上述相位提取算法由于具有很高的测试精度，无需搭建干涉测量光路。因此，对光刻投影曝光系统等高精度光学成像系统进行实时像质测评具有很好的应用前景。对高精度光学成像系统进行测试。将测试结果与菲索干涉仪的测试结果进行比对，二者差异为0.0074λ RMS （λ=632.8nm）。经过分析，星点图像的低采样率是测试过程中的主要误差源。通过提高星点图像的采样率，可以获得更高测试精度。

全文目录

摘要  4-6
Abstract  6-11
第1章绪论  11-31
  1.1 研究背景及意义  11-27
  1.2 需要解决的主要问题  27-28
  1.3 论文的主要研究内容  28-31
第2章衍射光强与衍射波前函数关系建立  31-45
  2.1 引言  31
  2.2 衍射数学模型  31-34
  2.3 衍射光强与衍射波前的函数关系  34-43
  2.4 本章小结  43-45
第3章相位提取算法研究  45-57
  3.1 引言  45
  3.2 多焦面相位提取算法研究  45-48
  3.3 单焦面相位提取算法研究  48-51
  3.4 交叉项的修正方法研究  51-56
  3.5 本章小结  56-57
第4章计算仿真分析  57-73
  4.1 引言  57
  4.2 多焦面相位提取算法精度分析  57-69
  4.3 单焦面相位提取算法精度分析  69-71
  4.4 本章小结  71-73
第5章系统标定方法研究  73-83
  5.1 引言  73
  5.2 标定算法的设计  73-79
  5.3 标定算法仿真分析  79-82
  5.4 本章小结  82-83
第6章衍射波前测评实验研究  83-95
  6.1 引言  83
  6.2 探测器响应校正  83-88
  6.3 衍射波前测评实验  88-92
  6.4 数据分析  92-94
  6.5 本章小结  94-95
第7章光学成像系统波前测试实验研究  95-105
  7.1 引言  95
  7.2 出瞳振幅对点扩散函数光强分布的影响  95-97
  7.3 测试原理及实验搭建  97-98
  7.4 数据处理及精度分析  98-103
  7.5 本章小结  103-105
第8章总结与展望  105-109
  8.1 研究总结  105-106
  8.2 论文的主要创新点  106-107
  8.3 研究展望  107-109
参考文献  109-125
在学期间学术成果情况  125-127
指导教师及作者简介  127-128
致谢  128

点衍射干涉仪基准波前质量测评研究

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