学位论文 > 优秀研究生学位论文题录展示

柔性微图形复制技术的研究

作　者: 刘伟庭
导　师: 陈裕泉
学　校: 浙江大学
专　业: 生物医学工程
关键词: 柔性微图形技术光刻技术软光刻技术柔性器件柔性电子器件有机物FET
分类号: R318.0
类　型: 硕士论文
年　份: 2003年
下　载: 109次
引　用: 2次
阅　读: 论文下载

内容摘要

柔性微图形复制技术，是微加工技术发展的新方向，是柔性器件发展提出的必然要求。作为微加工技术的核心——传统的光刻技术，虽然在硅技术中取得了巨大的成功，但由于光刻技术相对苛刻的要求和限制，它难以运用于柔性器件的制作。本文介绍了可用于柔性器件的软光刻技术和微三维定位压控微流成型技术。论文研究了了软光刻原理及相关技术和PDMS的成型技术；探讨了三维定位压控微流沉积系统的基本原理、系统结构和流体动力学模型，并对沉积图案实验结果的进行了分析，研究了各种参数的优化问题。采用不同的方法制备了用于组织工程的聚合物支架和柔性的有机物FET，并对OFET进行了性能测试。最后，我们讨论了柔性微图形复制技术的应用前景，并提出了后续研究的方向。

全文目录

中文摘要  3-4
英文摘要  4-5
第一章柔性微图形复制技术的发展要求  5-15
  1．1 引言  5-6
  1．2 柔性微图形复制技术的发展要求  6-15
第二章软光刻技术  15-30
  2．1 软光刻基本原理  16-25
  2．2 软光刻相关技术  25-30
第三章三维定位压控微流沉积系统  30-40
  3．1 系统的基本组成  30-33
  3．2 流体动力学模型  33-38
  3．3 沉积图案结果分析  38-40
第四章用软光刻技术和三维定位压控微流沉积系统制作柔性微结构  40-52
  4．1 用三维定位压控微流沉积系统制作  40-46
  4．2 用软光刻技术实现柔性微结构  46-52
第五章应用前景探讨  52-56
致谢  56-57
硕士期间发表的论文  57

柔性微图形复制技术的研究

内容摘要

全文目录

相似论文