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GMR的研制及其特性研究

作　者: 杨志
导　师: 温殿忠
学　校: 黑龙江大学
专　业: 微电子学与固体电子学
关键词: 巨磁电阻自旋阀 GMR传感器
分类号: TM54
类　型: 硕士论文
年　份: 2006年
下　载: 286次
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内容摘要

巨磁电阻(GMR)效应自发现以来即引起各国企业界及学术界的高度重视，GMR效应已成为当前凝聚态物理研究的热点之一。它不仅具有重要的科学意义，而且更重要的是，它具有多方面的应用价值。目前的应用领域主要有磁传感器、随机存储器和高密度读出磁头等方面。GMR传感器在自动化技术、家用电器、卫星定位、导航、汽车工业、医疗等方面都具有广泛的应用前景。本文主要阐述了自旋阀多层膜GMR的工作原理，并利用制版、光刻、化学腐蚀等半导体制造技术，制备了金属掩膜版。并且利用金属掩膜版磁控溅射技术，制造了自旋阀GMR传感器，同时给出了薄膜样品的表面结构SEM形貌特征照片，以及利用自旋阀GMR传感器测试得到的实验校准数据并绘制出输出—输入曲线。

全文目录

中文摘要  2-3
Abstract  3-16
第1章绪论  16-49
  1.1 引言  16-32
    1.1.1 磁电阻效应  17-19
    1.1.2 巨磁电阻的发现及其主要实验现象  19-26
    1.1.3 巨磁电阻效应材料的发展  26-30
    1.1.4 巨磁电阻材料的制备方法  30-32
  1.2 巨磁电阻效应的机理  32-43
    1.2.1 自发磁化的能带模型与自旋相关散射  33-37
    1.2.2 多层膜GMR的唯象理论—双电流模型  37-40
    1.2.3 巨磁电阻效应的量子理论  40-43
  1.3 国内外发展概况及存在问题  43-49
    1.3.1 国内外研究概况  43-47
    1.3.2 GMR效应研究存在的问题  47-49
第2章 GMR样品的结构设计和工作原理  49-56
  2.1 GMR样品的结构设计  49-52
  2.2 自旋阀多层膜中GMR效应原理  52-55
    2.2.1 自旋阀多层膜中GMR起因  52-53
    2.2.2 自旋阀磁阻的物理概要  53-55
  2.3 小结  55-56
第3章 GMR样品的制备  56-62
  3.1 磁控溅射原理  56-57
  3.2 硅梁谐振器力学特性分析  57-61
    3.2.1 溅射系统介绍  57-58
    3.2.2 多层膜样品制备  58-61
  3.3 小结  61-62
第4章 GMR样品的测试及分析  62-74
  4.1 样品的结构表征  62-69
    4.1.1 薄膜的形成  62-68
    4.1.2 影响薄膜生成的因素  68-69
  4.2 样品测试及其结果  69-73
  4.3 小结  73-74
总结  74-75
致谢  75-76
攻读硕士学位期间所发表的论文  76-77
参考文献  77-81
独创性声明  81
学位论文版权使用授权书  81

GMR的研制及其特性研究

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